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專家分析壓力傳感器的發(fā)展趨勢


東莞市南力測控設(shè)備有限公司推出新產(chǎn)品:壓力開關(guān)壓力變送器,壓力傳感器稱重傳感器,液位傳感器如有意向購買者請致電:0769-88119598

  由于該技術(shù)是平面工藝與立體加工相結(jié)合,又便于集成化,所以可用來制成血壓計、風速計、水速計、壓力表、電子稱以及自動報警裝置等。

  壓力傳感器已成為各類傳感器中技術(shù)最成熟、性能最穩(wěn)定、性價比最高的一類傳感器,因此對于從事現(xiàn)代測量與自動控制專業(yè)的技術(shù)人員必須了解和熟識國內(nèi)外壓力傳感器的研究現(xiàn)狀和發(fā)展趨勢,在各類傳感器中壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定可靠、成本低、便于集成化的優(yōu)點,可廣泛用于壓力、高度、加速度、液體的流量、流速、液位、壓強的測量與控制。除此以外,還廣泛應(yīng)用于水利、地質(zhì)、氣象、化工、醫(yī)療衛(wèi)生等方面。

  傳感器技術(shù)是現(xiàn)代測量和自動化系統(tǒng)的重要技術(shù)之一,從宇宙開發(fā)到海底探秘,從生產(chǎn)的過程控制到現(xiàn)代文明生活,幾乎每一項技術(shù)都離不開傳感器,因此, 許多國家對傳感器技術(shù)的發(fā)展十分重視,如日本把傳感器技術(shù)列為六大核心技術(shù)(計算機、通信、激光、半導(dǎo)體、超導(dǎo)體和傳感器) 之一。

  現(xiàn)代壓力傳感器以半導(dǎo)體傳感器的發(fā)明為標志,而半導(dǎo)體傳感器的發(fā)展可以分為四個階段: 發(fā)明階段半導(dǎo)體材料的這一特性得到較廣泛應(yīng)用,技術(shù)發(fā)展階段隨著硅擴散技術(shù)的發(fā)展,這種形式的硅杯壓力傳感器具有體積小、重量輕、靈敏度高、穩(wěn)定性好、成本低、便于集成化的優(yōu)點,實現(xiàn)了金屬- 硅共晶體,為商業(yè)化發(fā)展提供了可能。

  商業(yè)化集成加工階段在硅杯擴散理論的基礎(chǔ)上應(yīng)用了硅的各向異性的腐蝕技術(shù),擴散硅傳感器其加工工藝以硅的各項異性腐蝕技術(shù)為主,發(fā)展成為可以自動控制硅膜厚度的硅各向異性加工技術(shù),主要有V 形槽法、濃硼自動中止法、陽極氧化法自動中止法和微機控制自動中止法。

  由于可以在多個表面同時進行腐蝕,數(shù)千個硅壓力膜可以同時生產(chǎn),壓力傳感器實現(xiàn)了集成化的工廠加工模式,成本進一步降低,微機械加工階段上世紀末出現(xiàn)的納米技術(shù),使得微機械加工工藝成為可能,通過微機械加工工藝可以由計算機控制加工出結(jié)構(gòu)型的壓力傳感器,其線度可以控制在微米級范圍內(nèi),利用這一技術(shù)可以加工、蝕刻微米級的溝、條、膜,使得壓力傳感器進入了微米階段。

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