差動(dòng)電容式壓力傳感器的受壓膜片電極位于兩個(gè)固定電極之間,構(gòu)成兩個(gè)電容器,在壓力的作用下一個(gè)電容器的容量增大而另一個(gè)則相應(yīng)減小,測量結(jié)果由差動(dòng)式電路輸出,它的固定電極是在凹曲的玻璃表面上鍍金屬層而制成。
過載時(shí)膜片受到凹面的保護(hù)而不致破損,差動(dòng)電容式壓力傳感器比單電容式的靈敏度高、線性度好,但加工較困難,特別是難以保證對稱性,而且不能實(shí)現(xiàn)對被測氣體或液體的隔離,因此不宜于工作在有腐蝕性或雜質(zhì)的流體中。
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