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壓力傳感器的新突破效果


壓力傳感器的新突破效果

日前的壓力傳感器是將一個穩(wěn)定的膜片與易傳感的硅納米線結合在一起運作使用的,從而更加穩(wěn)定耐用。
通過蝕刻氮化硅和變化厚度、調整硅納米線,壓力傳感器可以提供電輸出的線性變化,符合高精度的醫(yī)療器械應用要求;同時滿足了抵抗變形和機械損壞。
但由于這個隔膜必須將很小的壓力變化傳到電阻器上,同時要抵抗變形和破損。因此,壓力傳感器的隔膜材料選擇就顯得至關重要。于
然而,壓力傳感器的優(yōu)越性,能夠戰(zhàn)勝易彎曲性這個弱點,所以會在頂層再加一層性能穩(wěn)定的氮化硅。

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